轴承材料

在真空中使用的轴承滚道圈和球的材料以马氏体不锈钢(SUS440C)为标准。对耐腐蚀性有要求时,应使用沉淀硬化不锈钢(SUS630);有高温时,应使用高速工具钢(SKH4、M50 等)。此外，在某些条件下,可能使用耐热性和耐腐蚀性均非常出色的陶瓷。

润滑剂

如果是普通的真空室,大气压和真空会相互交替,在这样大范围的压力变化中,没有合适的滚动轴承用润滑剂。需要根据常用压力和温度,甚至是净化性、耐腐蚀性等,选择合适的润滑剂。